Характеристики методов распределительного элементного анализа

Метод	Латеральное разрешение AL	Глубина отбора аналитической информации		Предел обнаружения, г
		монослоев	мкм
Масс-спектрометрия твердых тел	104 - 106		10	10-12
Лазерный микроанализ	104 - 106		10	10-12
Электронно-зондовый микроанализ	106 - 108		1	10-16
Масс-спектрометрия вторичных ионов	106 - 108	1 -5	0,0005	10-17
Оже-электронная спектроскопия	106 - 108	10	0,005	10-13

^× Источник: М. Отто. Современные методы аналитической химии. Пер. с нем. под ред. А.В. Гармаша. -М.: Техносфера, 2003. Т. 2. C. 215.